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2012-07-30
编号：TCHY00123
篇名：CuAlO_2陶瓷靶材的制备及其性能研究
作者： 兰军； 刘翔； 张辉； 段云彪； 储清梅； 曹明刚； 张少春；
关键词： 透明导电氧化物； CuAlO2； 固相烧结； 电导率；
机构： 昆明理工大学材料科学与工程学院；
摘要： 以分析纯微米级Al2O3和Cu2O粉体为原料,采用固相烧结法制备铜铁矿型透明导电氧化物CuAlO2陶瓷靶材,通过XRD、R-T和SEM等测试方法对其进行结构和性能表征,研究烧结反应温度及时间对靶材结构、密度、电导率的影响。结果表明:最佳烧结制备CuAlO2陶瓷靶材的试验条件为烧结温度1 150℃、烧结时间10h。试验获得了物相较纯、密度(4.83g/cm3)达到理论密度95%的CuAlO2陶瓷靶材,该靶材室温电导率为1.3×10-2S·cm-1,由电导率温度曲线计算出该靶材热激活能为0.265eV。
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