含Nb氮化物硬质膜的研究现状及展望

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2022-10-28

编号:CYYJ02664

篇名:含Nb氮化物硬质膜的研究现状及展望

作者: 苏富斌 张钧 王晓阳 钱春晖 陈磊

关键词: TiNbN硬质膜 TiAlNbN硬质膜 硬度 耐磨性

机构: 沈阳大学机械工程学院辽宁省多组硬质膜研究及应用重点实验室

摘要: 针对现有的TiNbN硬质膜的制备技术、晶体结构、硬度、结合力、耐磨性等组织性能方面进行了分析概述。针对TiAlNbN硬质膜的硬度、耐磨性、抗热震性能等力学性能进行了总结,并对TiAlNbN硬质膜的发展进行了展望。

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