中国粉体网讯 每一种粒度测量方法都是测量不同基准下颗粒的某一物理特性,可以根据多种不同的方法得到不同的平均结果(如个数基准下D[4,3],D[3,2] 等),但是究竟该用哪种平均径呢?举一个简单的例子,两个直径分别为1和10的球体,对冶金行业,如果计算简单的个数平均直径,得到的结果是:D[1,0]=(1+10)/2=5.5。但是如果感兴趣的是物质的质量,而质量是直径的三次函数,这样,直径为1的球体的质量为1,直径为10的球体的质量为1000。也就是说,大球体占系统总质量的99.9%。在冶金上即使舍去粒径为1的球体,也只会损失总质量的0.1%。因此,简单的个数平均不能精确反映系统的质量,而用D[4,3]能更好地反映颗粒的平均质量。
在上述两个球体的例子中,质量矩体积平均径计算如下:
该值能比较充分地表示系统的质量,对某些行业非常重要。
但是对于一间制造大规模集成电路的洁净房间来说,颗粒的数量或浓度就是最重要的了,因为若有一个颗粒落在硅片上,就将会产生一个疵点,产品就可能报废。这时需要采用一种能直接测量颗粒的数量或浓度的方法。对于颗粒计数来说,记录下颗粒个数就可以了,在此场合颗粒的大小反而显得不重要了。
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