化学气相沉积氮化钛薄膜的研究

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2023-12-26

编号:FTJS10194

篇名:化学气相沉积氮化钛薄膜的研究

作者: 王俊宝 肖维维 梁兰菊 高炬

关键词: TiN薄膜 化学气相沉积 制备

机构: 枣庄学院光电工程学院

摘要: 氮化钛薄膜材料具有优良的性能,应用广阔,总结了化学气相沉积制备氮化钛薄膜的方法和原理,介绍了化学气相沉积在制备氮化钛方面的应用现状和研究成果,分析了各种化学气相沉积方法的优势。

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