编号：XJHY00500

篇名：不同白色填料在国产三嗪全氟醚橡胶中的性能影响探讨

作者： 邢华艳；刘波；余金龙；郭伟红；王雯霞

关键词： 国产三嗪全氟醚橡胶; 白色填料; 物理共混; 三嗪交联; 性能表征;

机构： 中昊晨光化工研究院有限公司有机氟材料四川省重点实验室

摘要： 全氟醚橡胶（FFKM）凭借其卓越的耐化学腐蚀性、耐高温性及等离子体稳定性，已成为半导体制造装备中不可或缺的关键密封材料。其中，填料体系的筛选对其综合性能，尤其是等离子体环境与高温工况下的服役稳定性具有决定性影响。本文针对国产三嗪交联体系FFKM，系统研究了有机填料（纳米PTFE、纳米PVDF、四氟微粉、可熔性聚四氟乙烯PFA）与无机填料（白炭黑、硫酸钡、硅酸钙、钛白粉）共8种白色填料对其力学性能及加工性能的影响。试验结果表明，由于填料的微观形貌、化学结构及在基体中的分散状态存在差异，在同等添加量条件下，不同白色填料赋予国产三嗪FFKM各异的性能特征与优劣势。