3406
2011-08-15
编号：TCHY00062
篇名：磷酸对AlN陶瓷烧结的影响
作者： 刘盟; 唐建成; 张宇;
关键词： AlN陶瓷; 磷酸; 致密化;
机构： 南昌大学材料科学与工程学院;
摘要： 为了研究磷酸对AlN陶瓷烧结的影响,利用磷酸对AlN粉末进行酸洗处理制备了具有较高抗水解能力的AlN粉末,在碳管炉氮气气氛下进行陶瓷烧结;利用XRD和SEM对AlN陶瓷进行了表征,并进行了密度的测定。结果表明磷酸酸洗降低了AlN的含氧量,优化了粉末烧结性能,有利于AlN陶瓷的致密化。经过磷酸酸洗的粉末在1800℃下烧结,陶瓷样品微观结构良好,相对密度为98.8%,且没有新杂质相形成。
原文： 引言氮化铝陶瓷(AlN)具有优良的热学、力学、电学性能,如:高热导率,低介电常数,与硅相匹配的线膨胀系数,电绝缘性优良,密度较低,无毒,比强度高等[1-3]。其综合性能优于Al2O3和BeO,因此在电子工业中十分热门,是目前最为理想的高性能陶瓷基板和封装材料。然而AlN粉末作为制备AlN
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