SiNX/SiO2/Si的双层膜太阳能电池研究

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2015-12-03

编号:CYYJ01021

篇名:SiNX/SiO2/Si的双层膜太阳能电池研究

作者: 张岩; 罗飞; 胡智星;

关键词: 晶硅太阳能电池; 二氧化硅; 氮化硅; 减反射膜;

机构: 西安黄河光伏科技股份有限公司;

摘要: 采用热氧化法制备二氧化硅减反射膜,采用PECVD制备氮化硅减反射膜,对双层薄膜带来的钝化效果进行了表征,对比了SiNX/SiO2双层减反膜和SiNX单层减反膜的区别,并研究了不同氧化工艺对扩散方阻的影响,双层减反射膜对晶硅太阳能电池的影响。结果表明:使用双层SiNX/SiO2减反膜的钝化效果更好,晶硅电池转化效率更高。

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