微波等离子体化学气相沉积法制备石墨烯的研究进展

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2015-12-14

编号:CYYJ01033

篇名:微波等离子体化学气相沉积法制备石墨烯的研究进展

作者: 涂昕; 满卫东; 游志恒; 阳朔;

关键词: 微波等离子体化学气相沉积; 石墨烯; 研究; 应用;

机构: 武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室;

摘要: 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法具有低温生长、基底材料选择广泛、容易掺杂等优点,是大面积、高速率、高质量石墨烯制备的首选。首先通过比较制备石墨烯的几种主要CVD方法得出MPCVD法的优势,然后阐述了MPCVD法制备石墨烯的研究,最后介绍了MPCVD法制备的石墨烯的应用并对MPCVD法制备石墨烯的发展趋势进行了展望。

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