编号：CYYJ01235

篇名：氧化铝抛光液磨料制备及其稳定性研究进展

作者： 吴俊星[1,2] ;刘卫丽[2,3] ;谢华清[1] ;宋志棠[2,3] ;朱月琴[1,3]

关键词： 化学机械抛光 纳米氧化铝 表面改性

机构： [1]上海第二工业大学城市建设与环境工程学院,上海201209; [2]上海新安纳电子科技有限公司,上海201506; [3]中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200

摘要： 介绍了氧化铝磨料在化学机械抛光中的应用,总结了氧化铝抛光液磨料制备方法。根据氧化铝抛光液在应用中存在的问题,着重阐述提高氧化铝抛光液分散性和稳定性的方法。在分析氧化铝抛光液应用的基础上,提出蓝宝石衬底抛光液将来的发展方向,希望为今后的氧化铝抛光液研究提供一些思路。