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2017-06-26

编号:CYYJ01474
篇名:微米纳米器件与材料专题述评
作者: 庞慰
关键词: 纳米器件 微米级 半导体产业 述评 专题 材料 MEMS器件 机械性能
机构: 精密测试技术及仪器国家重点实验室(天津大学)
摘要: 半导体产业发展的初期(20世纪60年代),人们发现微米级别的元器件不但体积小,而且表现出比宏观尺寸器件更优良的电学和机械性能。这种新奇的现象引起了当时业界的兴趣,随后微米技术及其理念很快进入了半导体以外领域,与机械等传统学科相结合,产生了新的研究方向即微机电系统(MEMS)。在其发展初期,大批量的MEMS器件被应用在汽车行业,在安全气囊传感控制中迅速取得了成功。
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