1504
2017-10-17
编号：CYYJ01543
篇名：分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究进展（二）：表征手段
作者： 王亚斌[1,2] ;刘忠[1] ;李武[1] ;董亚萍[1] ;黄玉东[2]
关键词： 分子纳米层 扩散阻挡层 粘接层 铜固定化
机构： [1]中国科学院青海盐湖研究所,西宁810008; [2]哈尔滨工业大学化工学院,哈尔滨150000
摘要： 国内对分子纳米层作为铜扩散阻挡层的研究,以及对分子纳米层性能测试的仪器和方法比较欠缺。因此,本文介绍了表征有机分子纳米层作为铜扩散阻挡层的测试方法,包括热性能测试,电学性能测试,粘接性能测试,形貌测试和分子模拟。重点介绍了粘接性能测试的方法和原理,并分析了由此技术带来的新研究方向。
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