氮化硅陶瓷中压注塑成型技术(MPIM)研究及进展

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2021-05-11

编号:CYYJ02270

篇名:氮化硅陶瓷中压注塑成型技术(MPIM)研究及进展

作者: 李镔 张伟儒 韦中华 王子诚 陈波

关键词: 中压注塑成型技术 氮化硅轴承球 低缺陷排胶 致密度 力学性能

机构: 北京中材人工晶体研究院有限公司 中材高新氮化物陶瓷有限公司 中材高新材料股份有限公司

摘要: 首次采用中压注塑成型技术(MPIM)制得性能优良的氮化硅轴承球。研究了粘结剂配方、注塑成型、低缺陷排胶、气氛压力烧结等工艺参数对氮化硅轴承球致密度、力学性能、表面与微观形貌的影响。结果表明,喂料固含量55.51%、注塑速率5 cm/s、注塑温度90℃、注塑实际压力75 bar、超临界CO2萃取+热脱脂两步法排胶等工艺过程有效控制了氮化硅坯体的缺陷,制得了生坯致密度58.7%、烧结密度3.26 g/cm3、烧结致密度99.4%、抗弯强度843 MPa、无缺陷的氮化硅轴承球。MPIM是未来注塑成型技术发展的重点方向,具有广泛的应用前景。

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