四氯化硅综合利用现状及发展趋势

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2022-03-30

编号:CYYJ02561

篇名:四氯化硅综合利用现状及发展趋势

作者: 李爱民 郭树虎 袁振军 刘见华 赵雄 赵宇 常欣 万烨

关键词: 多晶硅 气相白炭黑 硅酸乙酯 光纤预制棒 冷氢化 热氢化 氯氢化 改良西门子法

机构: 中国恩菲工程技术有限公司 洛阳中硅高科技有限公司

摘要: 介绍了西门子法多晶硅的副产物四氯化硅的综合利用技术及其现状,从原理、工艺优缺点、存在问题、改进方向等方面介绍了四氯化硅制备气相白炭黑、硅酸乙酯、光纤预制棒及三氯氢硅的应用,重点介绍了四氯化硅氢化技术的最新进展,指出了氢化技术上的难题,并提出解决建议,为国内多晶硅技术开发提供了方向和指导。

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