钨及其合金超精密抛光研究进展

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2022-07-06

编号:CYYJ02622

篇名:钨及其合金超精密抛光研究进展

作者: 许良 王林 陈泓谕 杭伟 吕冰海 袁巨龙

关键词: 钨合金 超精密抛光 表面质量 低损伤 力流变抛光

机构: 浙江工业大学机械工程学院超精密加工研究中心

摘要: 钨及其合金是当今高新技术产业重要的基础材料。近年来,科技的发展对材料表面质量提出了更高的要求,因此在特定条件下有必要对钨及其合金进行超精密抛光。聚焦高效、高质量、低损伤抛光,结合国内外相关研究,对适用于钨及其合金的超精密抛光方法如化学机械抛光(CMP)、电化学抛光(ECP)、磁流变抛光(MRF)、电流变抛光(ERP)、力流变抛光(FRP)进行了综述,阐述了各种抛光方法的加工原理、特点及其材料去除机理。从加工效率、加工精度、加工成本、环保等方面进行比较,概述了各种抛光方法的优势及其局限性。考虑到钨及其合金不同的应用需求,适用的抛光方法不尽相同。CMP、ECP主要用于钨及其合金的高效抛光,但存在抛光液污染的问题。MRF、FRP则可实现复杂曲面的超精密抛光,是较有前景的抛光新方法。最后从丰富理论体系、优化抛光工艺、注重经济环保3个方面对钨及其合金超精密抛光的发展趋势进行了展望。

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