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2024-01-10
编号：CYYJ02820
篇名：氮化钼薄膜的制备、性能及其应用研究进展
作者： 童品森 魏宁 吴宏荣
关键词： 氮化钼薄膜 物理性能 力学性能 制备方法 应用
机构： 江南大学机械工程学院
摘要： 氮化钼作为过渡金属氮化物的典型代表,具有良好的导电性以及优异的力学性能、电化学性能,在催化、储能、集成电路、保护涂层等领域有着广泛的应用前景。然而,目前国内有关氮化钼薄膜的综述较少。首先总结了氮化钼的分子结构及其物理性能和力学性能;其次总结了氮化钼薄膜的主要制备方法,包括溶液法、溅射法、原子层沉积法以及化学气相沉积法等,归纳了各种氮化钼薄膜制备方法的优缺点及其适用的场景;最后,对氮化钼薄膜的潜在应用前景进行了总结和展望。
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