编号：CYYJ03201

篇名：平面显示用钼合金靶材研究现状与展望

作者： 弓艳飞；王广达；邸天成；姚惠龙

关键词： 钼合金; 靶材; 平面显示; 耐氧化; 耐湿性;

机构： 安泰科技股份有限公司

摘要： 我国的显示面板市场规模位居世界第一，显示面板出货量占世界一半以上。钼及钼合金靶材的溅射薄膜用于显示面板中显示器件的生产，影响这显示面板的产品性能。纯钼靶材无法满足更高清晰度和高分辨率的显示要求。在钼中添加合金元素可以改善溅射薄膜的耐氧化性、耐湿性和耐腐蚀性等性能，已在行业中实际应用。基于文章和专利内容，从钼合金元素种类和制备工艺等方面进行了分析整理。钼合金靶材还需要在合金固溶、微观组织的均匀化、多元素相互作用以及薄膜性能调控等方面开展工作。通过技术创新和产业链协同，未来我国钼合金靶材开发将会迅速迭代升级，推动显示行业快速发展。