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2012-06-14

编号:CYYJ00575
篇名:氧化铝微米树的制备及其形成机理研究
作者: 赵世华; 麻焕锋; 贾廷见; 崔玉亭; 朱治广; 赵青; 蔡娜; 王玲玲;
关键词: 阳极氧化; 微米树; 形成机理;
机构: 商丘师范学院物理与信息工程系; 湖南大学物理与微电子科学学院;
摘要: 以草酸为电解液,采用两次阳极氧化法,结合高温退火和酒精中超声,制备了氧化铝的微米树结构。该微米树由明显的树干和树枝组成。树干的平均宽度在1μm左右,平均长度为20~30μm,而树枝的平均宽度为1~2μm,平均长度为3~5μm。微米树树干的形成并非沿单一方向生长,而呈明显的"X"交叉型生长模式。最后讨论了氧化铝微米树的形成机理。
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