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2026-09-03
来源：赫尔纳
大连力迪提供的thyracont真空计以及真空控制器应用于真空处理的各行各业。
Thyracont开发制造智能真空测量和控制仪器，以对精度的热情，为客户提供真空应用服务，多种制造工艺。我们的真空产品在大型应用领域也能提供服务。应用包括，例如过程工业，涂层，分析和研发以及半导体和太阳能。
主要应用行业
l 镀膜设备
l 旋转蒸发器
l 真空泵QA
l 冻结干燥器
l 光谱仪
l 实验室工作站
l 真空隔离
l 真空包装
l 泄漏测试
电子束行业
Thryacont提供高精度的皮拉尼压阻复合真空计、皮拉尼热阴极、皮拉尼冷阴极复合真空计，薄膜规，精度高，满足PVD镀膜（溅射镀膜）的高精度真空度检测。
l 皮拉尼/热阴极：VSH 1000到5x10~10mbar
l 皮拉尼/冷阴极：VSM 1000到5x10~9mbar
l 压阻/皮拉尼：VSR 1200到1x 10~4mbar
l 皮拉尼：VSP1000到1x10~mbar
l 压阻规：VSC43 1400到1mbar Piezo
l 电容规：VCC200 200到1x 10mbar
真空表优势：
• 具有16bar的超压稳定性，无需超压阀，节约成本
• 响应速度快，精度高
• 防护等级最高可达IP54
• 法兰处耐温度，高达160摄氏度
• 输出信号:4-20mA,0- 10v, RS485, EtherCAT, Profinet满足不同的控制系统连接
薄膜规VCC200
测量原理 | 电容式薄膜规，和气体类型无关 |
测量范围 | 200 - 0.1 mbar (150 - 0.1 Torr) |
最大超压 | 6 bar abs |
精度： | 满量程0.25% (线性度、迟滞、重复性) |
接触真空的材料 | 不锈钢 1.4305，Al₂O₃ 陶瓷，FKM |
时间 | < 120ms (10 ... 90%) |
电气接口 | M12 A型圆形编码，5针，公头，可锁定 |
输出信号 | 4 - 20 mA, linear |
接口 | 小法兰 DN16 ISO KF 带 G1/4 内螺纹 |
薄膜规 VSC43
测量原理 | 压阻式，与气体类型无关 |
测量范围 | 1400 - 1 mbar (1050 - 1 Torr) |
最大超压 | 4 bar 绝对压力 |
精度： | 满量程的 0.3% (线性度、迟滞、重复性) |
接触真空的材料 | 不锈钢 1.4305，Al₂O₃ 陶瓷，FKM |
反应时间 | < 20 ms |
电气接口 | l M12 A型圆形编码，5针，公头，可锁定 l 赫斯曼（Hirschmann）型，6针，公头，可锁定 |
输出信号（线性） | l 4 - 20 mA l 0 – 10 v |
接口 | 小法兰 DN16 ISO KF 带 G1/4 内螺纹 |
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